廢氣經預處理除去粉塵、顆粒狀物質后，送入活性炭吸附器Ⅰ、Ⅱ，當活性炭吸附器Ⅰ接近飽和時，首先將處理氣體自動切換到活性炭吸附器Ⅱ（活性炭吸附器Ⅰ停止吸附操作），然后用熱氣流對活性炭吸附器Ⅰ進行解吸脫附，將有機物從活性炭上脫附下來。在脫附過程中，有機廢氣已被濃縮，濃度較原來提高幾十倍，達2000ppm以上，濃縮廢氣送到催化分解裝置，最后被成為CO2與H2O排出。
完成解吸脫附以后活性炭吸附器Ⅰ進入待用狀態，待活性炭吸附器Ⅱ接近飽和時，系統再自動切換回來，同時對活性炭吸附器Ⅱ進行解吸脫附，如此循環工作。
當有機廢氣的濃度達到2000ppm以上時，催化床內可維持自燃，不用外加熱。該方案不僅大大節省了能量的消耗，而且由于催化分解器的處理能力僅需原廢氣處理量的1/5（60000m3/h），所以同時也降低了設備投資。本方案既適合于連續工作，也適合于間斷工作。
