產品介紹
背散射電子衍射裝置(EBSD)：是掃描電子顯微鏡(SEM)的附件之一，它能提供如晶間取向、晶界類型、再結晶晶粒、微織構、相辨別和晶粒尺寸測量等完整的分析數據。EBSD數據來自樣品表面下10-50nm厚的區域，且EBSD樣品檢測時需要傾轉70°，為避免表面高處區域遮擋低處的信號，所以要求EBSD樣品表面“新鮮”、清潔、平整、良好的導電性、無應力等要求。
在掃描電子顯微鏡（SEM）中，入射于樣品上的電子束與樣品作用產生幾種不同效應，其中之一就是在每一個晶體或晶粒內規則排列的晶格面上產生衍射。從所有原子面上產生的衍射組成“衍射花樣”，這可被看成是一張晶體中原子面間的角度關系圖。
衍射花樣包含晶系（立方、六方等）對稱性的信息，而且，晶面和晶帶軸間的夾角與晶系種類和晶體的晶格參數相對應，這些數據可用于EBSD相鑒定。對于已知相，則花樣的取向與晶體的取向直接對應。
EBSD具體分析功能
1、微觀組織分析：晶粒尺寸、均勻性、有沒有孿晶及孿晶的體積分數、再結晶晶粒及亞晶、晶界特性分析、相鑒定及相分布等；
分析思路：主要通過分析取向分布圖實現，不同顏色晶粒代表不同的取向，晶粒形狀大小反映材料變形或再結晶情況，根據相鄰晶粒夾角確定晶界類型，并用不同的顏色將晶界表示出來；
2、取向分析：相鄰晶粒的取向分析，晶粒和相鄰孿晶的取向分析，孿晶及相鄰孿晶的取向分析，織構分析、取向差分析；
分析思路：兩個相鄰晶粒可以用歐拉角分析，極圖分析等，大范圍晶粒取向用極圖或反極圖分析。
制樣說明：切割，鑲嵌，研磨，機械拋光、化學侵蝕、電解拋光。一般電解拋光為主。
可以直接做EBSD數據采集的樣品的基本要求：樣品能產生計算機可以識別且能正確標定的菊池衍射花樣、表面平整、清潔、無殘余應力、導電性良好、尺寸合適，數據采集處理需提供樣品中各相的物相以及晶體結構及原子占位信息，元素種類等，以及晶體學信息：晶體學數據庫，ICCD，或者皮爾斯手冊，再就是XRD標定用的PDF卡片里面。若不符合直接測試要求，需要選擇合適的制樣方法。
