CP200國(guó)產(chǎn)臺(tái)階膜厚儀是利用光學(xué)干涉原理，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。
CP系列臺(tái)階儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。如在太陽(yáng)能光伏行業(yè)中，通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。
產(chǎn)品特性
1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求
線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)
測(cè)力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量。
3.超平掃描平臺(tái)
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。
4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機(jī)
5.全自動(dòng)XY載物臺(tái)， Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺(tái)
6.強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺(tái)階儀軟件包含多個(gè)模塊，為對(duì)不同被測(cè)件的高度測(cè)量及分析評(píng)價(jià)提供充分支持。
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CP200國(guó)產(chǎn)臺(tái)階膜厚儀對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。
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