CGO-高低溫真空探針臺
溫度范圍77K-675K(液氮)；
可應用于真空及常規(guī)環(huán)境；
超高溫度分辨率；
特殊客制低溫系統(tǒng)；
具有極高穩(wěn)定性
特點/應用
2至6英寸樣品臺
高真空腔體
防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好
77K-675K高低溫環(huán)境
兼容IV/CV/RF測試
外置多探針臂，移動行程大
經濟實用，可無縫升級
高低溫真空探針臺
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
腔體規(guī)格
型號：CGO-2/CGO-4/CGO-6
樣品臺尺寸：2英寸/4英寸/6英寸
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸
真空度：10-6torr
探針臂接口：4~6個探針臂接口
其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：液氮/液氦/制冷機
溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K
溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K
外形：880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高
重量：約100千克/120千克
光學系統(tǒng)：
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-200X/20X-4000X
移動行程：水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針臂
X-Y-Z移動行程：50mm*50mm*50mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度：10微米/1微米
線纜：同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
頻率支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
其他組件
真空組件：分子泵組/機械泵/離子泵
冷源組件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機
可選附件
超高溫配件、顯示器、轉接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學平臺、鍍金卡盤、光電測試配件、高壓測試配件、分子泵組、激光系統(tǒng)、氣敏測試配件。
