KT—Z1650CVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓，電流反饋，樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
小型蒸鍍儀鄭州科探儀器技術(shù)資料
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控制方式
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7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制
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加熱方式
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數(shù)字式功率調(diào)整器
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鍍膜功能
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0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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功率
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≤1200W
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輸出電壓電流
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電壓≤12V 電流≤120A
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真空度
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機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa
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擋板類型
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電控
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真空腔室
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石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
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樣品臺
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可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
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樣品臺轉(zhuǎn)速
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8轉(zhuǎn)/分鐘
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樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離
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70-140mm
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
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≤1800℃
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支持蒸發(fā)坩堝類型
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鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩
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預(yù)留真空接口
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KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
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可選配擴(kuò)展
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機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa） 數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa） 分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）
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