微電容申通道叉指電極高低溫探針臺，一體式不銹鋼腔體，手動調節探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置
KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結構小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構，使得探針部分能從整個探針臺系統中獨立出來，可以應用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結構可實現多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數據更加準確。
微電容申通道叉指電極高低溫探針臺的技術產數：
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真空腔體 |
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類型 |
高溫型室溫到350℃ |
高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
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腔體材質 |
304不銹鋼 6061鋁合金 可選 |
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腔體內尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
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腔體外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
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腔體重量 |
不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG |
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腔體上視窗尺寸 |
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
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腔體抽氣口 |
KF16法蘭（其余接口規格可轉接） |
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腔體真空測量口 |
KF16法蘭（其余接口規格可轉接） |
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腔體進氣口 |
6mm快擰 或 6mm快插 |
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腔體冷卻方式 |
腔體水冷+上蓋氣冷 |
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腔體水冷接口 |
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腔體正壓 |
≤0.05MPa |
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腔體真空度 |
機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
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樣品臺 |
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樣品臺材質 |
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 |
銀銅合金 純銀塊 |
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樣品臺尺寸 |
26x26mm |
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樣品臺加熱方式 |
電阻加熱 |
電阻加熱 液氮制冷 |
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樣品臺-視窗 距離 |
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） |
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樣品臺測溫傳感器 |
PT100型熱電阻 |
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樣品臺溫度 |
室溫到400℃ |
室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
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樣品臺測溫誤差 |
±0.5℃ |
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樣品臺升溫速率 |
高溫100℃/min 低溫7℃/min |
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溫控儀 |
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溫度顯示 |
7寸人機界面 |
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溫控類型 |
標準PID溫控 +自整定 |
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溫度分辨率 |
0.1℃ |
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溫控精度 |
±0.5℃ |
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溫度信號輸入類型 |
PT100 （可選K S B型熱電偶） |
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溫控輸出 |
直流線性電源加熱 |
直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
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輔助功能 |
溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 |
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溫控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
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溫控器重量 |
約5.6KG |
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探針 |
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電信號接頭 |
配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
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電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
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探針數量 |
4探針（可擴展5探針） |
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探針材質 |
鍍金鎢針 （其他材質可選） |
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探針尖 |
10μm |
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手動探針移動平臺 |
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X軸移動行程 |
20mm ±10mm（需手動推動滑臺） |
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X軸控制精度 |
≥500μm |
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R軸移動行程 |
120° ±60°（需手動旋轉探針桿） |
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R軸控制精度 |
≥500μm |
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Z軸移動行程 |
2mm ±1mm |
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Z軸控制精度 |
≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） |
