掌上真空探針臺，一體式不銹鋼腔體，手動調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置
KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個探針臺系統(tǒng)中獨立出來，可以應(yīng)用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。
掌上真空探針臺KT-Z4019MRL4T
|
真空腔體 |
||
|
類型 |
高溫型室溫到400℃ |
高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃ |
|
腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 6061鋁合金 可選 |
|
|
腔體內(nèi)尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
|
|
腔體外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
|
|
腔體重量 |
不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG |
|
|
腔體上視窗尺寸 |
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
|
|
腔體抽氣口 |
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） |
|
|
腔體真空測量口 |
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） |
|
|
腔體進氣口 |
6mm快擰 或 6mm快插 |
|
|
腔體冷卻方式 |
腔體水冷+上蓋氣冷 |
|
|
腔體水冷接口 |
|
|
|
腔體正壓 |
≤0.05MPa |
|
|
腔體真空度 |
機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
|
|
樣品臺 |
||
|
樣品臺材質(zhì) |
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 |
銀銅合金 純銀塊 |
|
樣品臺尺寸 |
26x26mm |
|
|
樣品臺加熱方式 |
電阻加熱 |
電阻加熱 液氮制冷 |
|
樣品臺-視窗 距離 |
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） |
|
|
樣品臺測溫傳感器 |
PT100型熱電阻 |
|
|
樣品臺溫度 |
室溫到400℃ |
室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
|
樣品臺測溫誤差 |
±0.5℃ |
|
|
樣品臺升溫速率 |
高溫100℃/min 低溫7℃/min |
|
|
溫控儀 |
||
|
溫度顯示 |
7寸人機界面 |
|
|
溫控類型 |
標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 |
|
|
溫度分辨率 |
0.1℃ |
|
|
溫控精度 |
±0.5℃ |
|
|
溫度信號輸入類型 |
PT100 （可選K S B型熱電偶） |
|
|
溫控輸出 |
直流線性電源加熱 |
直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
|
輔助功能 |
溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口 |
|
|
溫控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
|
|
溫控器重量 |
約5.6KG |
|
|
探針 |
||
|
電信號接頭 |
配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
|
|
電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
|
|
探針數(shù)量 |
4探針（可擴展5探針） |
|
|
探針材質(zhì) |
鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） |
|
|
探針尖 |
10μm |
|
|
手動探針移動平臺 |
||
|
X軸移動行程 |
20mm ±10mm（需手動推動滑臺） |
|
|
X軸控制精度 |
≥500μm |
|
|
R軸移動行程 |
120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿） |
|
|
R軸控制精度 |
≥500μm |
|
|
Z軸移動行程 |
2mm ±1mm |
|
|
Z軸控制精度 |
≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿） |
