作為直線電機源頭生產廠家,漢諾深耕行業 25 年,專注高精密高穩定性直線電機模組平臺研發定制生產,其 EFEM 晶圓傳輸系統在行業內頗具競爭力,優勢體現在多個方面。
漢諾的 EFEM 晶圓傳輸系統依托公司強大的技術積累和生產實力。公司擁有一萬五千平研發生產車間,推行完備的 6S 生產管理,從生產環境到流程都有嚴格規范,為產品品質打下堅實基礎。多名十年以上裝配經驗的高級技工參與制作,確保每一個部件的裝配精度,讓系統在運行中更穩定可靠。
在精度控制上,EFEM 晶圓傳輸系統表現出色。漢諾配備多臺高精密檢測設備,包括 10 臺雷尼紹激光干涉儀、準直儀、激光多普勒分析儀等,對系統進行全方位檢測。這使得該系統能滿足半導體行業對高精密傳輸的要求,與漢諾的直線電機、壓電平臺等產品配合,可實現微米、亞微米乃至納米級的精準控制,保障晶圓傳輸過程中的位置準確性。
適配性廣泛是其另一大優勢。EFEM 晶圓傳輸系統可與多種高精密自動化設備搭配,廣泛應用于半導體生產環節。漢諾與哈工大、桂林理工大學等進行產學研合作,不斷優化系統設計,使其能適配不同規格的晶圓處理設備,如光刻機、蝕刻機、薄膜沉積設備等,滿足不同場景下的傳輸需求。
穩定性方面,該系統充分體現漢諾對高穩定性的追求。通過優質材料選擇和結構優化,系統能在長時間運行中保持穩定性能,減少因設備波動帶來的生產影響。這一特性讓其深入參與到半導體產業鏈中,與眾多 TOP 企業建立深度合作。
此外,作為直線電機源頭生產廠家,漢諾能提供定制化服務。針對不同客戶的具體需求,可對 EFEM 晶圓傳輸系統進行調整,從材料選擇到功能設計,提供適配的解決方案。這種靈活性使其在半導體、激光等領域得到廣泛認可,也讓漢諾積累了大量老客戶,80% 的業績來自返單和轉介紹,側面印證了 EFEM 晶圓傳輸系統的可靠優勢。
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