噴淋式廢氣處理設備
此裝置是一個A B兩單元模,組組成的濕法化學噴淋清洗系統(tǒng)，此系統(tǒng)進行除三氯化硼、四氯化硅、氯氣、氨氣和硅烷（SiH 4）的及金屬有機物化學物質(zhì)也被分解在洗滌單元中。系統(tǒng)主要組成單元為：WFB1 WFB2容器箱（預估90L）、液體,流量計、磁力泵、噴淋裝置、除霧器裝置、廢氣應急旁通管路、活性炭過濾器等。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；頂部及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。技術數(shù)據(jù):氣體總流量<1.8mn3/小時；廢氣：三氯化硼、四氯化硅、氯氣、氨氣、硅烷（SiH4）在H2中為2％；清洗中和溶液及裝置:循環(huán)泵：日本IWAKI品牌磁力泵；噴淋裝置：PPH管道及PPN材質(zhì)噴淋嘴；流量計：美國DWYER品牌的流量計；容器箱：數(shù)量2個（WFB1、WFB2）；材質(zhì)：德國聚丙烯（PP）；容積：預估90升；設備制造：北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）.
