3噸超純水設備是專為對水質純度有極高要求的行業設計的水處理系統，每小時可穩定產出3噸電阻率18.2MΩ・cm@25℃的超純水，廣泛應用于半導體制造、精密電子、高端實驗室等領域。設備采用“預處理+雙級RO反滲透+EDI深度除鹽+終端超純化”的全流程工藝，在5噸工業純化水設備基礎上優化精度控制，實現對水中離子、微粒、有機物的深度去除，滿足超高標準用水需求。​ 一、核心工藝架構與精度優化​ （一）預處理系統：低污染預處理​ 多介質過濾單元：采用φ800mm316L不銹鋼濾罐（單罐），內裝1000mm厚級配濾料（下層4-6mm石英砂+中層2-4mm無煙煤+上層1-2mm錳砂），運行流速15m/h，濁度去除率99%，將原水濁度降至0.1NTU。反沖洗采用“氣水聯合+脈沖沖洗”模式（氣洗強度12L/(m²・s)，水洗強度18L/(m²・s)），較5噸設備節水10%，避免沖洗殘留污染。​ 復合凈化單元：串聯φ600mm活性炭濾罐（椰殼炭，碘值1200mg/g）與φ600mm軟化罐（001×7MB核級陽離子樹脂），活性炭單元余氯去除率99.9%（出口余氯0.01mg/L），軟化單元將原水硬度（以CaCO₃計）降至0.01mmol/L，為后續RO系統提供更優質進水。​ 精密保安過濾：采用40英寸雙聯過濾器（316L不銹鋼），內置0.22μm聚醚砜（PES）折疊濾芯（6支/聯），對0.22μm顆粒截留率，確保進入RO系統的顆粒污染物0.05mg/L，濾芯可進行完整性測試（氣泡點0.22MPa）。​ （二）雙級反滲透系統：高精度脫鹽​ 一級RO單元：配置6支8040型抗污染反滲透膜（3支串聯×2組并聯），單支膜面積400ft²，設計脫鹽率。運行壓力1.5±0.1MPa，配備精密恒溫裝置（水溫控制在25±0.5℃），產水量5.2m³/h。濃水側安裝能量回收裝置，噸水電耗降至1.1kW・h。​ 二級RO單元：采用3支8040型超低污染膜（串聯運行），產水量3.3m³/h。二級產水電導率0.5μS/cm，通過在線電導率儀（精度±0.01μS/cm）實時監控，超標時自動啟動循環凈化程序。​ （三）深度除鹽與超純化系統​ EDI深度除鹽：采用2臺EDI模塊（IONPUREIP-LX45，并聯運行），總產水3噸/小時，在直流電場（400-600V）作用下，將二級RO產水進一步純化至電阻率17MΩ・cm@25℃。EDI濃水（約0.6m³/h）回流至一級RO進水端，系統整體水利用率提升。​ 終端超純化：EDI產水進入拋光混床（φ400mm316L不銹鋼罐），內裝1:1比例的核級陽陰樹脂（UP6150），進一步去除殘余離子，使產水電阻率穩定18.2MΩ・cm@25℃。隨后經0.1μmPTFE終端過濾器，確保微粒（0.1μm）1個/ml，滿足超純水標準。​ （四）智能控制系統​ 高精度控制中樞：采用西門子S7-1500PLC，12英寸彩色觸摸屏實時顯示3噸/小時產水量、各段壓力、電阻率、TOC等32項參數，支持歷史數據追溯（存儲3年）與遠程控制（4G+以太網），可接入工廠MES系統。​ 微污染預警系統：配備在線TOC分析儀（檢測限1ppb）、激光微粒計數器（0.1-10μm），每30分鐘記錄一次數據，當參數接近預警值時提前2小時發出警報，便于及時處理。​ 保持穩定運行能力​ ​ 超純保障體系：​ 材質超純要求：與水接觸部件100%采用316L不銹鋼（電解拋光Ra0.4μm）或PTFE、PP等低溶出材料，所有管道焊接采用自動軌道焊接，內壁焊縫Ra0.8μm，避免污染。​ 防二次污染設計：產水管道采用316L不銹鋼，坡度1%，確保排水徹底，無積水點；閥門采用隔膜閥（無死角），避免傳統閥門的腔體內殘留。​