晶圓拋光液KND-LP30是一種水溶性拋光劑，主要由磨料、PH值調(diào)節(jié)劑、氧化劑、分散劑和表面活性劑等多種化學(xué)成分組成。這些成分在拋光過程中共同作用于晶圓表面，實現(xiàn)研磨、腐蝕溶解等效果，從而達到拋光的目的。
晶圓拋光液KND-LP30的工作原理
晶圓拋光液在CMP工藝中起到關(guān)鍵作用。它通過與晶圓表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，形成一層結(jié)合力弱的氧化膜，有利于后續(xù)機械去除。在氧化劑的氧化腐蝕與磨料研磨的共同作用下，晶圓表面可達到高質(zhì)量全局平坦化效果。
晶圓拋光液KND-LP30的優(yōu)點
拋光效果好：能夠去除金屬表面的粗糙部分，提高表面光潔度，使金屬表面呈現(xiàn)自然光澤。
防腐蝕性強：在金屬表面形成一層具有保護作用的金屬氧化物層，大大減少了金屬的腐蝕情況。
增加耐磨性：使金屬表面變得更加光滑，從而提高金屬表面的耐磨性和潤滑能力。
