氫氣傳感器可以分為電阻型和非電阻型兩類，前者以金屬氧化物半導體傳感器為典型代表，后者主要利用肖特基二極管或MOSFET進行測量。其中，又以金屬氧化物半導體傳感器更為常見。該種傳感器有兩個電極，在兩個電極之間的襯底材料上涂一層金屬氧化物膜（例如氧化錫），該膜作為一種氫敏材料，與氫氣相互作用后其電導率會發(fā)生改變。因此，半導體導電率的變化可以作為氫氣濃度的量度。電學型氫氣傳感器具有成本低、壽命較長、運行功耗較低、可小型化等優(yōu)點，具有大規(guī)模應用的潛力。但其對氫氣選擇性不強，容易受到水蒸氣等常見氣體的干擾，且存在運行溫度較高、啟動較慢、非線形、易被污染等問題。
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