EV-M
技術參數
EV-M20N
抽氣速率(L/min)
1,800
功率(極限壓力時)(kW)
1.2
尺寸(W×D×H mm)
370×770×450
重量(kg)
170
EV-M102N
抽氣速率(L/min)
10,000
功率(極限壓力時)(kW)
1.8
尺寸(W×D×H mm)
380×790×752
重量(kg)
320
EV-M202N
抽氣速率(L/min)
20,000
功率(極限壓力時)(kW)
1.9
尺寸(W×D×H mm)
380×820×752
重量(kg)
360
EV-M302N
抽氣速率(L/min)
30,000
功率(極限壓力時)(kW)
2.3
尺寸(W×D×H mm)
380×910×830
重量(kg)
400
EV-M502N
抽氣速率(L/min)
50,000
功率(極限壓力時)(kW)
2.1
尺寸(W×D×H mm)
485×975×870
重量(kg)
500
EV-M802N
抽氣速率(L/min)
80,000
功率(極限壓力時)(kW)
2.8
尺寸(W×D×H mm)
630×1,000×1,030
重量(kg)
740
EV-M505SF
抽氣速率(L/min)
50,000
功率(極限壓力時)(kW)
3.9
尺寸(W×D×H mm)
485×990×910
重量(kg)
580
EV-M805SF
抽氣速率(L/min)
80,000
功率(極限壓力時)(kW)
4.6
尺寸(W×D×H mm)
630×1,100×1,070
重量(kg)
820
EV-M1205SF
抽氣速率(L/min)
110,000
功率(極限壓力時)(kW)
5.3
尺寸(W×D×H mm)
630×1,240×1,044
重量(kg)
870
產品特點
產品系列豐富，可應對多種工藝、抽氣速率需求
兼顧高負荷與低功耗
可應對腐蝕性氣體（標配耐腐蝕材料）
應用領域
可應用于在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產物生成的重制程工藝。
