金鴻碳化硅輥棒、傳動棒，桿，懸臂漿，棍棒輥道窯爐鋰

碳化硅懸臂漿，棍棒，碳化硅擴散槳，設計特點：1、在高溫環境下不變形，晶片裝載力大；2、耐極冷急熱，使用壽命長；3、懸臂漿熱膨脹系數極小，延長了維護清洗的周期；并大幅減少污染物。應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的（擴散）涂層過程中，對硅片在高溫環境中（1000---1300℃）的承載輸送作用，是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。常規尺寸有2378毫米，2550毫米，2660毫米等。