電學型氫氣傳感器可以分為電阻型和非電阻型兩類,前者以金屬氧化物半導體傳感器為典型代表,后者主要利用肖特基二極管或MOSFET進行測量。其中,又以金屬氧化物半導體傳感器更為常見。該種傳感器有兩個電極,在兩個電極之間的襯底材料上涂一層金屬氧化物膜(例如氧化錫),該膜作為一種氫敏材料,與氫氣相互作用后其電導率會發生改變。因此,半導體導電率的變化可以作為氫氣濃度的量度。
電學型氫氣傳感器可以分為電阻型和非電阻型兩類,前者以金屬氧化物半導體傳感器為典型代表,后者主要利用肖特基二極管或MOSFET進行測量。其中,又以金屬氧化物半導體傳感器更為常見。該種傳感器有兩個電極,在兩個電極之間的襯底材料上涂一層金屬氧化物膜(例如氧化錫),該膜作為一種氫敏材料,與氫氣相互作用后其電導率會發生改變。因此,半導體導電率的變化可以作為氫氣濃度的量度。
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